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基于机械-化学方法的微纳制造技术
史立秋著2014 年出版93 页ISBN：9787121237126随着电子器件越来越小型化，如何方便、可控地在单晶硅表面设计和构筑具有特定功能和特性的跨尺度微纳复合结构一直是当今微纳制造领域中的热点和难点问题。本书针对该问题，提出“基于机械-化学方法的硅表面功...
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2012-2013机械工程学科发展报告 特种加工与微纳制造
中国科学技术协会主编；中国机械工程学会编著2014 年出版257 页ISBN：9787504665560本书介绍了机械工程（微纳制造和特种加工）学科发展情况，并对本学科的进展做了全面而准确的总结。学会对所负责的学科发展研究初稿进行研讨及学术交流后，为研究成果的最后完成提出实质性修改意见和建议。整套丛书...
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物联网与微纳电子技术
杨刚主编2014 年出版253 页ISBN：9787560634524本书主要介绍了与物联网相关的微纳电子技术的相关原理、理论以及应用，涉及物联网相关的技术与理论、微纳电子技术、宽禁带半导体技术、光电技术、与传感器相关的技术、射频识别器件相关技术、空间定位技术。...
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流体辅助微纳抛光原理与技术
程灏波著2014 年出版246 页ISBN：9787030405210本书结合著者科研团队多年在流体辅助抛光技术领域的研究和经验，对目前应用较为广泛的流体辅助抛光方法从浅到深进行系统的介绍。不仅包括了技术的发展和加工机理，而且介绍了相关的加工系统和目前最新的工艺研...
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碳化硅光学反射镜超精密加工的基础理论与方法
李圣怡等著2014 年出版186 页ISBN：9787030391100本书重点介绍了我们承担的国家重大基础研究项目（973）的研究成果的一部分。是一部专门针对新一代空间光学碳化硅光学材料加工的专著。内容包括：五种典型碳化硅光学材料如碳/碳化硅（C/SiC）、硅/碳化硅（Si/SiC）两相涂...
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先进光学元件微纳制造与精密检测技术
郭隐彪，杨平，王振忠，杨炜编著2014 年出版320 页ISBN：9787118096132先进光学元件作为实现特殊光学功能的载体和工具，在光学技术领域中占据着举足轻重的地位。先进光学元件开发的核心，主要是实现高精度的制造和检测。本书以此为出发点，主要内容包括：先进光学元件的高精度制造与检...
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复杂曲面高性能加工技术与方法
孙玉文，徐金亭，任斐，郭强著2014 年出版298 页ISBN：9787030424419本书从加工精度与加工品质保持下的高效率数字化加工角度，较为系统地探讨了复杂曲面零件的数字化高性能精密加工理论与方法，较为全面地反映了作者近十年来的研究工作。全书共分十章：第一章论述了高品质零件高性...
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