微纳尺度制造工程 英文版

本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。本书新...

微纳加工科学原理

本书基于作者长期从事微纳加工技术、带电粒子光学和光电子学等方面的科研和教学工作积累，系统、全面地论述关于现代微米与纳米微细加工的科学原理。...

微纳传感器及其应用

本书的主要内容是通过深入细致地讲述MEMS（微电机）设计的基础理论和研究方法，结合几种常用的MEMS器件作为研究实例，让学生了解和掌握MEMS器件和系统，从原理设计、工艺设计、系统设计，到加工测试的整个设计过程，以及...

装备零件制造与再制造加工技术

微纳尺度通道流动理论及应用

本书介绍了微纳尺度通道流动研究的理论价值和实际应用意义；分析了用于微纳尺度通道流场研究的基本方程-Burnett方程及其该方程的稳定性特征；探讨了微纳尺度下典型流场的Couette流和Poiseuille流的流动特征和...

机械制造技术 常规技术部分

功能新材料及生命体中的微纳结构

微纳结构是生命体共有的、基本的最小基元。本书从不同角度，展示了微纳技术在生命科学领域的应用进展。内容涉及许多专利性质的方法、实验技巧，是作者多年从事科研事业的结晶。巧用Phase信息研究生命体中的微...

模具制造技术

本书是普通高等教育“十一五”国家级规划教材。

现代制造技术

本书主要阐述了现代制造技术的体系构成、工艺方法、管理理念等。

现代制造技术概论

本书阐述了现代制造技术理论与实务。