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日中中日半导体制造技术词典
林少霖编2011 年出版382 页ISBN：9787811187731本书收集了有关半导体（集成块）制造方面的技术用语，内容包括了半导体材料、硅氧化、光刻和刻蚀等加工工艺和外观检验、性能检验的基本专业词汇，对研究和开发半导体制造技术、从事半导体（集成电路）制造的人员学习.....
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新型半导体薄膜材料的制备与光电特性
陈光华著2004 年出版377 页ISBN：7311023734本论文集包括了作者25年来对非晶半导体和薄膜物理方面的研究内容和方法，同时也反映出作者对这个领域的认识过程和研究思路以及取得的成果。...
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