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半导体晶片清洗 科学、技术与应用
（美）克恩主编2012 年出版350 页ISBN：9787121173974半导体晶片清洗工艺已成为半导体器件制造过程中最为关键的操作之一，特别是在先进的ULSI硅集成电路的制造中。本书分别由19位业界公认的科学家撰写，所有与半导体晶片清洗相关的知识、科学和技术原理汇集到了一...
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半导体集成电路制造手册
（美）HWAIYU GENG等著；赵树武 陈松 赵水林 黄小锋等译2006 年出版732 页ISBN：7121032813本书是一本综合性很强的参考书，由60名国际专家编写，并由同等水平的顾问组审校，内容涵盖相关技术的基础知识和现实中的实际应用，以及对生产过程的计划、实施和控制等运营管理方面的考虑。涉及制造工艺和辅助设施...
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