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微机电器件设计 制造及计算机辅助设计
郭占社编著2016 年出版272 页ISBN:9787512421097本书首先介绍了MEMS的相关基本理论,微机电系统的重要材料和制造工艺。在这些理论的基础上,对设计规则和重要的工程实例都进行了详细描述。然后,结合MEMS(包括加速度测量)的许多工程应用介绍了角速度测量和压力测...
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微纳尺度制造工程 英文版
(美)坎贝尔著2010 年出版638 页ISBN:9787121118043本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术,覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺,包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。本书新...
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微电子器件封装制造技术
教育部,财政部组编2012 年出版112 页ISBN:9787121153983本选题内容包括:微电子器件封装技术概述;微电子器件塑料封装技术,用三端稳压器塑料封装、BGA器件塑料封装、WL-CSP塑料封装为具体学习任务;微电子器件金属封装技术,用TVS二极管的金属封装、F型功率三极管的金属...
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