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裂隙岩体一般块体理论
于青春,薛果夫,陈德基著2007 年出版127 页ISBN:7508443365本书研究裂隙岩体(碎裂岩)的一般块体理论并附带计算程序。本书适用于裂隙岩体理论的研究人员以及相关专业的学生。
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激光等离子体极紫外光刻光源
窦银萍,宋晓伟,陶海岩著2018 年出版112 页ISBN:9787118117936本书首先介绍了用于光刻的激光等离子体极紫外光源的国内外发展现状,并系统阐述激光等离子体光源的相关理论。其次,介绍了用于6.7nm光源探测的平像场光栅光谱仪的设计、搭建及标定。重点介绍了激光参数及靶条...
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