当前位置：首页 > 名称
大约有1,948项符合查询结果项。（搜索耗时：0.0356秒）
为您推荐： 光刻巨人 紫外线的危害 集成电路与光刻机 光刻巨人asml崛起之路 半导体先进光刻理论与技术 计算光刻与版图优化
-
激光等离子体极紫外光刻光源
窦银萍，宋晓伟，陶海岩著2018 年出版112 页ISBN：9787118117936本书首先介绍了用于光刻的激光等离子体极紫外光源的国内外发展现状，并系统阐述激光等离子体光源的相关理论。其次，介绍了用于6.7nm光源探测的平像场光栅光谱仪的设计、搭建及标定。重点介绍了激光参数及靶条...
-
-
-
-
-
-
-
-
-
学科分类
出版时间