半导体器件制造中的制版技术

功率半导体器件 工作原理和制造工艺

半导体芯片制造职业技能鉴定指南

本书介绍了半导体芯片制造工国家职业标准及制造技术。

电机工程手册 第2版 8 自动化与通信卷 第3篇 计算机集成制造系统

国家职业标准 半导体芯片制造工

本书共包括电磁制造工、半导体芯片制造工、电子产品制造工等13个工种的国家标准。

半导体芯片制造技术

本书全面系统地介绍了半导体芯片制造技术，内容包括半导体芯片制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的制备、晶圆制备、薄膜制备、金属有机物化学气相沉积、光刻与刻蚀、掺杂以及封装。由于目前光电产业的...

日中中日半导体制造技术词典

本书收集了有关半导体（集成块）制造方面的技术用语，内容包括了半导体材料、硅氧化、光刻和刻蚀等加工工艺和外观检验、性能检验的基本专业词汇，对研究和开发半导体制造技术、从事半导体（集成电路）制造的人员学习.....

半导体制造工艺控制理论

稳定受控的半导体制造工艺是实现芯片高可靠性水平的重要方法。本书从工序能力指数、统计过程控制和实验设计三个方面展开，详细讲述三种技术的常规理论和特殊应用方法和模型。内容包括常规工序能力指数，特殊工...

半导体制造系统智能调度

本书是国内系统介绍半导体制造系统智能调度的首部专著。本书围绕半导体制造系统特点，阐述了智能优化方法在求解半导体智能系统调度问题中的应用模式及方法，给出了半导体制造系统调度智能化求解新途径。本书可...

半导体制造基础

本书主要介绍半导体制造，包括集成器件的晶体生长和电路。本书内容覆盖半导体制造的所有主要理论和实际应用步骤。第1章主要介绍半导体器件以及相关行业的发展简史；第2章介绍晶体生长技术；接下来的几章介绍典型...