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本教材的编写简化了深奥的理论论述,在对基本原理介绍的基础上注重了对工艺过程、工艺参数的描述以及工艺参数测量方法等。
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《半导体手册》翻译组译1970 年出版148 页ISBN:15031·275
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《半导体手册》翻译组译1970 年出版61 页ISBN:15031·270
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上海无线电二十九厂编辑1978 年出版282 页ISBN: