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电子束曝光微纳加工技术
顾文琪主编；顾文琪，王理明，薛虹，方光荣，张福安，刘祖京，黄经筒，杨忠山著2004 年出版310 页ISBN：7563913009本书作者长期从事电子束曝光技术的研究和装备的研制，积累了丰富的经验。本书系统地介绍了电子束曝光技术的发展历史和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景，同时，详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和...
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芯片制造 半导体工艺制程实用教程 第6版
（美）赞特著2015 年出版376 页ISBN：9787121243363本书是一部介绍半导体集成电路和器件制造技术的专业书籍。其英文版在半导体领域享有很高的声誉。本书的范围包括半导体工艺的每个阶段，从原材料制备到封装、测试以及传统的和现代的工艺，第六版补充了半导体制...
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芯片制造 半导体工艺制程实用教程 第5版
韩郑生编著2010 年出版387 页ISBN：9787121113727本书是一部介绍半导体集成电路和器件技术的专业书籍。其英文版在半导体领域享有很高的声誉，被列为业界最畅销的书籍之一，第五版的出版就是最好的证明。本书的范围包括半导体工艺的每个阶段，从原材料制备到封装...
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环面蜗杆修型原理及制造技术
周良墉著2005 年出版908 页ISBN：7810991973本书分为上下两篇，上篇“原理篇”重点介绍环面蜗杆的成形原理和修型原理、直线包络环面蜗杆和平面包络环面蜗杆的参数设计方法、计算公式及优化设计方法等。下篇“制造篇”介绍环面蜗杆加工和床、刀具、工装...
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柔性电子制造 材料、器件与工艺
尹周平，黄永安编著2016 年出版395 页ISBN：9787030430984本书是第一部系统论述柔性电子器件及其制造的书籍，旨在对柔性电子领域进行全面的论述。主要内容来源于课题组多年来的研究积累，以及国内外的最新研究进展。系统全面地论述柔性电子器件及其制造的研究进展，集中...
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