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毕克允主编；马建允等编写1994 年出版1345 页ISBN：7111040805
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张廷庆，张开华等编1986 年出版383 页ISBN：15119·2473
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（日本）NEC公司著；万芙蓉译1995 年出版205 页ISBN：7505331485
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国外半导体设备手册编委会1988 年出版498 页ISBN：
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