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薄膜材料与薄膜技术 第2版
郑伟涛编著2008 年出版249 页ISBN：9787122013149本书重点介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学制备和物理气相沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征，对目前广泛研究和应用的几种主要薄膜材料进行了介绍、评论和展望。...
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