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化学气相沉积 从烃类气体到固体碳
张伟刚编著2007 年出版276 页ISBN:9787030196972本书运用多相化学反应工程原理,通过分析各种烃类气体在热解过程中发生的主要基元化学反应(第一章),对化学气相沉积和化学气相渗透技术的动力学过程和反应器设计进行系统论述(第二章和第三章),详细分析了在不同......
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金属有机化合物气相外延基础及应用
陆大成,段树坤著2009 年出版363 页ISBN:9787030238450本书是国内第一本全面系统地介绍金属有机化合物气相外延(MOVPE)的专著。本书共10章:第1章概述;第2章生长系统;第3章原材料;第4章MOVPE生长热力学和反应动力学;第5章MOVPE反应室内的输运现象与模型化;第6章MOVPE中的...
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