氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例

本书以实例的形式，介绍了用磁控溅射法制备氧化锌（ZnO）薄膜、氮化铝（AlN）薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分八章，主要介绍了ZnO和AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用，ZnO和AlN薄膜的常用制备方...

功能薄膜及其沉积制备技术

本书较全面地叙述了功能薄膜及其沉积制备技术。结合功能薄膜的特点和工程应用与发展实际，概要地讲述了薄膜的含义、特征和分类，及功能薄膜设计的原则；重点讲述了气相沉积、三束材料表面改性、复合处理等先进功...

形状记忆合金薄膜 基础与器件应用 导读版 英文

形状记忆合金（SMAs,ShapeMemoryAlloys）是一种在经过严重变形后能够通过加热恢复原来形状的材料。这种材料具有很多优良的特性，如具有高力体积比，这使它在受热或冷却时能够产生很大的应变力，另外它还具有超弹力、...

中国科学院博士学位研究生学位论文 光助溶胶-凝胶法制备二氧化钛光功能薄膜的研究

薄膜晶体管（TFT）及其在平板显示中的应用

在显示技术领域，以液晶显示（LCD）为代表的平板显示（FPD）已经取代传统的、体积笨重的CRT显示并占据主流地位，涵盖了从手机到大尺寸电视在内的各种显示应用领域。薄膜晶体管（TFT）已经成为电子平板显示行业的核心部件.....

碳基薄膜制备及场致电子发射

近些年来，在碳基薄膜材料研究领域中，以碳基薄膜材料为冷阴极的场致电子发射特性的研究是最受关注的前沿课题之一。也是真空微纳电子学的重要内容。冷阴极场发射平板显示是自上世纪九十年代以来得到迅速发展的...

薄膜太阳电池关键科学和技术

本书主要介绍光伏太阳电池的物理基础、制备技术及其最新进展。重点介绍各种光伏太阳电池的光电性能，如Si基薄膜太阳电池、染料敏化太阳电池、聚合物太阳电池和新型高效薄膜太阳电池，如量子点太阳电池等。对Si...

团簇组装多铁性薄膜

多铁性材料是自身物理特性对于温度、压力、电场、磁场等外部条件的变化较为敏感的一类材料，对多铁性功能材料的纳米尺度的开发和利用在微电子器件向纳电子器件的过渡过程中发挥着不可替代的作用，而作为纳米材...

石墨烯薄膜制备

本书主要介绍基于CVD法（包括等离子增强CVD法）的石墨烯薄膜制备技术。全书共8章，第1章为石墨烯的概括性简介，以方便读者对石墨烯有一个总体的认识。第2章是对CVD技术的基础性介绍，尤其是与石墨烯薄膜制备相关的通...

薄膜体声波谐振器的原理、设计与应用

本书详细介绍了FBAR谐振器模型所需的基本理论、设计原则、制备技术和应用方法等，包括薄膜体声波谐振器的理论模型、压电薄膜的制备方法、AlN薄膜的溅射沉积和刻蚀、横膈膜型薄膜体声波谐振器、固体装配型体...