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压电薄膜材料与器件制备技术
张涛著2012 年出版191 页ISBN:9787561234808本书主要内容分为两个部分。第一部分主要阐述与研究压电薄膜制制备技术,第二部分研究与压电薄膜直接相关的薄膜压电器件制备技术。
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薄膜材料的制备及应用
刘琳,刑锦娟,钱建华编著2011 年出版174 页ISBN:9787551700917本书包括以下主要内容:导论;薄膜制备的物理方法;第一章薄膜制备的化学方法;第二章薄膜技术应用;第三章薄膜的装置;第四章薄膜的形成、结构与缺陷;第五章特殊薄膜材料等。...
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薄膜制备技术基础 原著第4版
(日)麻莳立男著2009 年出版336 页ISBN:9787122045881本书全面介绍了与薄膜制备技术相关的各种基础知识,涉及了薄膜制备系统、典型的物理制膜与化学制膜方法,薄膜加工方法以及常用的薄膜性能表征技术等。...
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金刚石薄膜沉积制备工艺与应用
戴达煌,周克崧等编著2001 年出版208 页ISBN:7502427759本书阐述了各种沉积薄膜的制备方法;论述了金刚石薄膜的非平衡热力学和金刚石膜生长的动力学因素;同时介绍了性能接近金刚石膜的类金刚石膜的制备工艺、性能和应用。...
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新型半导体薄膜材料的制备与光电特性
陈光华著2004 年出版377 页ISBN:7311023734本论文集包括了作者25年来对非晶半导体和薄膜物理方面的研究内容和方法,同时也反映出作者对这个领域的认识过程和研究思路以及取得的成果。...
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