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AlB2-type WB2基硬质薄膜的制备与性能研究
刘艳明著2018 年出版120 页ISBN:9787511449795本书介绍了超硬自润滑硼化物薄膜——AlB2-type WB2基超硬薄膜的制备及改性。系统地描述了工艺参数(基体偏压、沉积温度、工作压强、靶功率)及N、C掺杂对AlB2-type WB2基硬质薄膜结构和性能(力学、摩擦热稳定性...
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氧化锌和硫化铟薄膜的制备及光电应用
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