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电力电子新技术系列图书 电力半导体新器件及其制造技术
王彩琳编著2015 年出版554 页ISBN：9787111475729本书介绍了电力半导体器件的结构、原理、特性、设计、制造工艺、可靠性与失效机理、应用共性技术及数值模拟方法。内容涉及功率二极管、晶闸管及其集成器件[（包括GTO晶闸管、集成门极换流晶闸管（IGCT））]、功率M...
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半导体科学与技术手册
何杰，夏建白主编2007 年出版686 页ISBN：9787030197429在国家自然科学基金委员会信息科学部的支持下，我们邀请了半导体领域的各有关专家撰写21世纪半导体科学和技术发展的展望，书名暂定为《21世纪半导体科学技术展望》。作者都是工作在第一线的知名专家，他们将针对...
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半导体照明技术现状与应用前景
梅霆，章勇，王金林，郭志友，尹以安编著2015 年出版219 页ISBN：9787545437065本书包括概述和正文九章，概述介绍了人类照明进化历程，LED发展的历史，半导体照明产业结构，国内外及广东发展状况；技术及产业的趋势及前景。在写作上尽量注意原理和技术相结合，理论和实践相结合，并适当插入一些前......
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半导体微系统制造技术
刘斌主编2017 年出版224 页ISBN：9787111502685本书根据微电子机械系统的发展趋势，主要介绍了常用的微系统制作工艺，并加入了部分超大规模集成电路工艺。本书在微电子制造技术的基础上主要包括了MEMS及微系统常用材料、硅的各向同性腐蚀、阳极腐蚀、硅的各...
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半导体制造技术导论 第2版
HongXiao（萧宏）2013 年出版460 页ISBN：9787121188503本书是一本半导体工艺技术的优秀教材，并不强调很深的理论和数学知识，而是重点关注半导体关键加工技术概念的理解。全书共分15章，包括：半导体技术导论，集成电路工艺导论，半导体基础知识，晶圆制造、外延和衬底加......
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半导体集成电路制造技术
张亚非（等）编著2006 年出版390 页ISBN：7040182998半导体集成电路发展到今天已经形成一个重大产业，本书主要讲述半导体集成电路产业的制造技术，既有基本原理和工艺技术的阐述，也有国内外近期发展状况介绍。根据半导体集成电路器件的基本原理和内部结构以及设计...
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氧化锌半导体材料掺杂技术与应用
叶志镇，吕建国，张银珠等著2009 年出版190 页ISBN：9787308066242ZnO是一种新型的Ⅱ-Ⅵ族半导体材料，具有许多优异的性能。但由于ZnO存在诸多的本征施主缺陷（如空位氧Vo和间隙锌Zni），对受主产生高度自补偿作用，天然为n型半导体，难以实现p型转变。ZnO薄膜p型掺杂的实现是ZnO基光...