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氢化硅薄膜介观力学行为研究和耐高温压力传感器研制
王权著2012 年出版131 页ISBN：9787811304367本文主要针对氢化硅薄膜介观力学行为和耐高温压力传感器这两个问题展开了理论与实验的研究。对射频等离子体增强化学气相沉积（RF-PECVD）系统进行了改造，制备了氢化硅薄膜，成功地进行了磷或硼的掺杂。用拉曼谱揭...
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