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半导体微系统制造技术
刘斌主编2017 年出版224 页ISBN:9787111502685本书根据微电子机械系统的发展趋势,主要介绍了常用的微系统制作工艺,并加入了部分超大规模集成电路工艺。本书在微电子制造技术的基础上主要包括了MEMS及微系统常用材料、硅的各向同性腐蚀、阳极腐蚀、硅的各...
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