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超快激光微纳加工 原理、技术与应用
程亚等著2016 年出版180 页ISBN：9787030494535本书详细介绍了飞秒激光微纳加工技术所涉及的原理及相关应用，共有八个章节。第一章主要介绍飞秒激光微纳加工的原理，包括飞秒激光与物质（介质）相互作用的原理，飞秒激光在透明介质中的传输理论，飞秒激光微纳加工.....
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纳米科学与技术 微纳加工及在纳米材料与器件研究中的作用
顾长志等编著2015 年出版353 页ISBN：9787030428264《纳米科学与技术》围绕国家在纳米科技领域的整体布局，紧密结合国家纳米科技重大专项为代表的国家在纳米技术领域的重大、重点项目，论述了纳米科技在纳米生物与医药、纳米结构分析测试与标准、纳米材料制备与...
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光学投影曝光微纳加工技术
姚汉民，胡松，邢廷文著2006 年出版285 页ISBN：7563916695本书是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”之一。书中系列介绍主流光刻技术——光学投影光刻的工作原理、系统组成、应用实例和发展前景，特别详细介绍了投影光刻物镜、掩模硅片对准、激光定位工...
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聚焦离子束微纳加工技术
顾文琪，马向国，李文萍著2006 年出版344 页ISBN：7563916903本书是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”之一。书中重点讲述聚焦离子束的系统结构，包括离子源、离子光柱体和控制系统；工作原理；关键技术；装置发展状况和应用实例，内容极具科技前沿性及前瞻性。本...
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微纳加工中的精密工件台技术
刘俊标，薛虹，顾文琪著2004 年出版278 页ISBN：7563914323本书重点讲述微纳加工关键部件——精密工件台的结构、原理和主要技术，以及通过精密工件台提高加工精度和生产效率的有效方法。书中对精密测量技术、驱动技术、直线导向技术、微位移技术、精密工件台控制系统...
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切削振动和加工不稳定性控制 精密微纳加工的时频分析方法
（美）C.史蒂夫·苏（C.STEVESUH），刘孟坤（MENG-KUNLIU）著；郭新华译2015 年出版211 页ISBN：9787111511489本书介绍了切削动力学和不稳定加工的主要特点，引入了切削振动和加工不稳定控制应用到的基本物理原理，在此基础上重点介绍了自适应滤波器和滤波-xLMS算法、时频分析方法、小波滤波器组原理与应用、动态不稳定...
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电子束曝光微纳加工技术
顾文琪主编；顾文琪，王理明，薛虹，方光荣，张福安，刘祖京，黄经筒，杨忠山著2004 年出版310 页ISBN：7563913009本书作者长期从事电子束曝光技术的研究和装备的研制，积累了丰富的经验。本书系统地介绍了电子束曝光技术的发展历史和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景，同时，详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和...
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基于机械-化学方法的微纳制造技术
史立秋著2014 年出版93 页ISBN：9787121237126随着电子器件越来越小型化，如何方便、可控地在单晶硅表面设计和构筑具有特定功能和特性的跨尺度微纳复合结构一直是当今微纳制造领域中的热点和难点问题。本书针对该问题，提出“基于机械-化学方法的硅表面功...
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微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用
顾长志等编著2013 年出版353 页ISBN：9787030378255本书共分十二章，第1－8章分类介绍了几种主要的微纳加工技术，包括：光学曝光、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、激光加工技术、纳米压印技术、离子束技术、薄膜技术和自组装加工，即简要概述了各种加工方法的科...