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基于机械-化学方法的微纳制造技术
史立秋著2014 年出版93 页ISBN：9787121237126随着电子器件越来越小型化，如何方便、可控地在单晶硅表面设计和构筑具有特定功能和特性的跨尺度微纳复合结构一直是当今微纳制造领域中的热点和难点问题。本书针对该问题，提出“基于机械-化学方法的硅表面功...
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纳米科技与微纳制造研究 技术路线图
何丹农团队编著2018 年出版155 页ISBN：9787543976092从国内外纳米科技发展现状和上海纳米科技发展必要性入手，详细解读了上海纳米科技未来发展战略，提出了上海纳米科技发展关键体系建设内容的建议，描绘了上海纳米科技发展战略实施蓝图。一方面，上海在纳米科技发展...
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先进光学元件微纳制造与精密检测技术
郭隐彪，杨平，王振忠，杨炜编著2014 年出版320 页ISBN：9787118096132先进光学元件作为实现特殊光学功能的载体和工具，在光学技术领域中占据着举足轻重的地位。先进光学元件开发的核心，主要是实现高精度的制造和检测。本书以此为出发点，主要内容包括：先进光学元件的高精度制造与检...
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微纳尺度制造工程 英文版
（美）坎贝尔著2010 年出版638 页ISBN：9787121118043本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。本书新...
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2012-2013机械工程学科发展报告 特种加工与微纳制造
中国科学技术协会主编；中国机械工程学会编著2014 年出版257 页ISBN：9787504665560本书介绍了机械工程（微纳制造和特种加工）学科发展情况，并对本学科的进展做了全面而准确的总结。学会对所负责的学科发展研究初稿进行研讨及学术交流后，为研究成果的最后完成提出实质性修改意见和建议。整套丛书...
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新兴微纳电子技术丛书 新能源与微纳电子技术
胡英主编；何亮，张茂林，成博伟，陈嘉彬，赵群，常盼盼，刘运国，廖应麟，翁锴强参编2015 年出版206 页ISBN：9787560636955本书借助微纳电子技术的新型成果，新能源领域从材料、器件到体系性能得到整体提升，并推动新能源应用化的发展。本书内容包括新能源及微纳电子技术、太阳能及太阳能电池、氢能及氢能发电体系、燃料电池、超级电...