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先进光学元件微纳制造与精密检测技术
郭隐彪，杨平，王振忠，杨炜编著2014 年出版320 页ISBN：9787118096132先进光学元件作为实现特殊光学功能的载体和工具，在光学技术领域中占据着举足轻重的地位。先进光学元件开发的核心，主要是实现高精度的制造和检测。本书以此为出发点，主要内容包括：先进光学元件的高精度制造与检...
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光学投影曝光微纳加工技术
姚汉民，胡松，邢廷文著2006 年出版285 页ISBN：7563916695本书是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”之一。书中系列介绍主流光刻技术——光学投影光刻的工作原理、系统组成、应用实例和发展前景，特别详细介绍了投影光刻物镜、掩模硅片对准、激光定位工...
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光子微系统 微纳技术在光器件与系统中的应用
（挪威）索格尔德著2011 年出版451 页ISBN：9787564127855本书共分15章，内容循序渐进，深入浅出，在书写形式上是一本教科书。第1～4章介绍光学及电磁场基础知识，第5～6章讨论光纤、波导及其期间。第7～8章阐述微机电光开关及扫描仪，第9～11章介绍幅度调制与相位调制及其光栅......
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基于机械-化学方法的微纳制造技术
史立秋著2014 年出版93 页ISBN：9787121237126随着电子器件越来越小型化，如何方便、可控地在单晶硅表面设计和构筑具有特定功能和特性的跨尺度微纳复合结构一直是当今微纳制造领域中的热点和难点问题。本书针对该问题，提出“基于机械-化学方法的硅表面功...
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