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国内外半导体专用设备发展动态键合工艺专辑

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上海无线电专用机械厂，上海市仪表电讯技术情报所编译1971 年出版52 页ISBN：
半导体器件物理与工艺

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（美）A.S.格罗夫著；齐建译1976 年出版356 页ISBN：15031·117
半导体器件物理与工艺

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（美）施敏（S.M.Sze）著；王阳元等译1992 年出版582 页ISBN：7030026209
半导体集成电路原理与工艺下

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2222 年出版411 页ISBN：
半导体器件物理与工艺基础版

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（美）施敏著；赵鹤鸣，钱敏，黄秋萍译；赵鹤鸣，王子欧改编2009 年出版224 页ISBN：9787811373080
本书介绍半导体器件的基础原理。
江苏电子专题资料 半导体器件与工艺 11

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江苏省电子工业综合研究所1978 年出版124 页ISBN：
金属-半导体界面欧姆接触的原理、测拭与工艺

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吴鼎芬，颜本达编著1989 年出版216 页ISBN：7313004648
材料科学与技术丛书第16卷 半导体工艺

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（美）K.A.杰克逊（Kenneth A.Jackson）主编；屠海令，万群等译校1999 年出版627 页ISBN：703007260X
暂缺《半导体工艺》简介
半导体硅材料与可控硅情报资料 6 可控硅制造工艺

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铁道部科学技术情报研究所1940 年出版60 页ISBN：
半导体工艺与测试实验

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谢德英，陈晖，黄展云，陈军编2015 年出版183 页ISBN：9787030436467
半导体工艺和器件测试实验是微电子学相关专业的专业基础课程，具有实践性强，实践与理论紧密结合的特点，对培养有竞争力的高素质微电子科技人才十分必要。本书介绍了与微电子技术有关的半导体工艺和测试方面的实...