薄膜技术与薄膜材料

本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用等4大部分。

薄膜技术与薄膜材料

本书内容包括真空技术部分、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用、薄膜成分与结构分析5大部分。

薄膜材料与薄膜技术

本书介绍了薄膜材料与薄膜技术的基本理论与知识，重点对材料的制备方法作了较为详细的阐述。

薄膜材料与薄膜技术 第2版

本书重点介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学制备和物理气相沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征，对目前广泛研究和应用的几种主要薄膜材料进行了介绍、评论和展望。...

压电薄膜材料与器件制备技术

本书主要内容分为两个部分。第一部分主要阐述与研究压电薄膜制制备技术，第二部分研究与压电薄膜直接相关的薄膜压电器件制备技术。

功能薄膜与功能材料 新概念与新技术

薄膜技术与薄膜材料

本书是笔者根据多年从事材料表面薄膜制备技术的科研和教学经验编写而成，共4章，分别阐述了材料表面防护装饰膜层的物理气相沉积技术（包括真空蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀镀膜），化学气相沉积技术（包括简单的CVD相.....

现代薄膜材料与技术

本书由薄膜制备技术、薄膜检测技术和典型薄膜材料及其应用3部分构成，系统介绍了现代薄膜技术中涉及到的真空的获得和测量方法、薄膜制备技术中重要的物理和化学方法、薄膜材料常用的结构分析和性能测试方法，...

现代薄膜材料与技术

本书在阐述有关薄膜的物理化学基础理论以及真空和低温等离子体技术的相关知识的基础上，重点介绍了功能薄膜、超硬薄膜等一些新型薄膜材料，各种薄膜材料制备方法和材料表面改性技术，并给出了薄膜材料的表征评价...

材料表面薄膜技术