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高端集成电路制造工艺丛书 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
张海洋等编著2018 年出版376 页ISBN：9787302489597系统性回顾了过去半个世纪干法蚀刻技术的演变，深入介绍了该技术的基本机理，在逻辑产品和闪存产品中的具体应用以及对于逻辑电路可靠性影响的系统分析。同时针对特殊气体和特种材料的蚀刻应用进行了展望；最后以...
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金属-氧化物-半导体集成电路 金属-氧化物-半导体大规模集成电路的理论、设计、制造和在整体中的应用
（美）W.M.彭尼，L.劳编；清华大学电子工程系半导体车间译1977 年出版324 页ISBN： -
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等离子体科学技术及其在工业中的应用
葛袁静，张广秋，陈强编著2011 年出版308 页ISBN：9787501978007本书关注等离子体科学和技术的发展，努力将低温等离子体物理界在物理及材料制备、相关放电装置及诊断等内容写入材料。内容涉及低温等离子体的种类，各种等离子体发生的机理及特点，等离子体基本动力学过程，及常用...
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等离子体动力学及其在太阳物理中的应用
黄光力编著2009 年出版164 页ISBN：9787030249258本书首先归纳了等离子体物理的基本概念，根据太阳物理深入发展的需求，侧重介绍了等离子体动力学理论框架的建立，及其与磁流体力学基本方程的关系。系统推导了等离子体动力学的线性理论（色散关系和微观不稳定性），.....
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