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机械制造工艺学 第2版
常同立，佟志忠编著2018 年出版361 页ISBN：9787302495628本书的内容包括机械制造工艺基础、机械加工工艺规程设计、典型零件加工工艺设计、数控加工工艺规程设计、机床夹具设计、机械加工精度控制、机械加工表面质量控制、装配工艺规程设计和先进制造技术与模式等...
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高端集成电路制造工艺丛书 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
张海洋等编著2018 年出版376 页ISBN：9787302489597系统性回顾了过去半个世纪干法蚀刻技术的演变，深入介绍了该技术的基本机理，在逻辑产品和闪存产品中的具体应用以及对于逻辑电路可靠性影响的系统分析。同时针对特殊气体和特种材料的蚀刻应用进行了展望；最后以...
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集成电路制造工艺与工程应用
温德通编著2018 年出版241 页ISBN：9787111598305本书以实际应用为出发点，抓住目前半导体工艺的主流工艺技术逐一进行介绍，例如CVD、PVD、CMP、ETCH、Photo、IMP。然后再通过图文对照的形式对典型工艺进行介绍，例如隔离技术的发展、Salicide工艺技术、ESD IMP...
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机械制造技术基础 第2版
李凯岭，迟京瑞，王丽丽，李爱芝，刘长安，张鹏著2018 年出版429 页ISBN：9787302489139本书综合了金属切削原理与刀具、金属切削机床概论、机械制造工艺学及机床夹具设计的基本內容，对机械制造技术的基础知识、基本理论、基本方法等进行有机整合后撰写而成的一本专业主干技术基础课教材。...
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