高端集成电路制造工艺丛书 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用

系统性回顾了过去半个世纪干法蚀刻技术的演变，深入介绍了该技术的基本机理，在逻辑产品和闪存产品中的具体应用以及对于逻辑电路可靠性影响的系统分析。同时针对特殊气体和特种材料的蚀刻应用进行了展望；最后以...

多传感器信息融合估计理论及其在智能制造中的应用

本书主要内容包括理论及应用两部分。前者包括多传感器融合的基础理论及典型应用，并以机器人为应用对象，分析了该系统中多传感器融合技术的主要内容，特点等。本书的应用部分以两个典型的机器人系统为例，系统地介...

放电等离子烧结技术及其在钛基复合材料制备中的应用

本书是国内第一部关于放电等离子烧结技术方面的专著，系统介绍了放电等离子烧结技术的特征、原理及其在钛基复合材料制备中的应用。全书包括6章内容：放电等离子烧结技术、钛基复合材料及其制备技术、放电等离...

大数据技术在大规模储能系统中的应用

本书主要内容包括：大数据处理架构，大数据存储、处理与分析技术，数据挖掘，储能电池寿命分析与评价，大规模储能系统海量数据采集、存储及管理技术，电池电压极差与充放电关系，储能单元的海量数据分析，大规模储能......

高效电弧等离子体技术及其应用

本书共12章，介绍了电弧等离子体的产生机理、特点，分析等离子体系统的基本组成及其功能，分析了电弧等离子体发生器的基本结构以及电弧灯离子体射流压缩及匀质化灯方法，介绍了电弧等离子体技术在高性能机械加工、...

激光3D打印在生物制造中的应用

CMOS及其他先导技术特大规模集成电路设计

本书概述现代CMOS晶体管的技术发展，提出新的设计方法来改善晶体管性能存在的局限性。本书共四部分。第一部分回顾了芯片设计的注意事项并且基准化了许多替代性的开关器件，重点论述了具有更陡峭亚阈值摆幅的器...

冲压工艺在汽车制造中的应用

为了可以适应汽车行业的生产需求，对冲压技术在汽车制造中的应用进行分析，促进我国汽车行业的快速发展，实现获得更大经济效益和社会利益的目的。本书内容主要包括：冲压工艺在汽车制造中的应用及发展趋势、冲压工...

等离子工艺与设备在冶炼和铸造生产中的应用

本书内容包括：低温等离子体的物理现象、性能和特点；低温等离子体发生器（等离子枪）的种类和特征；等离子体加热条件下熔融金属与气体的相互作用；等离子体加热在冶金工业中的应用；带水冷结晶器的等离子电弧炉的结......

中国核科学技术发展进展报告 第5卷：中国核学会2017年学术年会论文集 第7册 计算物理 核物理 粒子加速器 核聚变与等离子体物理 脉冲功率技术及其应用 核工程力学