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半导体制造工艺控制理论
王少熙，郑然，阴玥，游海龙，张淳著2018 年出版170 页ISBN：9787561259535稳定受控的半导体制造工艺是实现芯片高可靠性水平的重要方法。本书从工序能力指数、统计过程控制和实验设计三个方面展开，详细讲述三种技术的常规理论和特殊应用方法和模型。内容包括常规工序能力指数，特殊工...
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高端集成电路制造工艺丛书 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
张海洋等编著2018 年出版376 页ISBN：9787302489597系统性回顾了过去半个世纪干法蚀刻技术的演变，深入介绍了该技术的基本机理，在逻辑产品和闪存产品中的具体应用以及对于逻辑电路可靠性影响的系统分析。同时针对特殊气体和特种材料的蚀刻应用进行了展望；最后以...
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集成电路制造与封装基础
商世广，金蕾，赵萍，谢瑞著2018 年出版381 页ISBN：9787030583864本书主要介绍了半导体性质、硅片制备、氧化技术、光刻技术、图形技术、掺杂技术、薄膜物理制备、薄膜化学制备、工艺集成、工艺监控、封装技术、可靠性设计、可靠性筛选和组装检测等微电子技术领域的基本内...
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集成电路制造工艺与工程应用
温德通编著2018 年出版241 页ISBN：9787111598305本书以实际应用为出发点，抓住目前半导体工艺的主流工艺技术逐一进行介绍，例如CVD、PVD、CMP、ETCH、Photo、IMP。然后再通过图文对照的形式对典型工艺进行介绍，例如隔离技术的发展、Salicide工艺技术、ESD IMP...
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生态集成制造系统 区域循环经济理论与实践
杨养锋著2018 年出版173 页ISBN：9787030576361本书运用系统工程的思想、理论和方法，综合产业生态学理论、循环经济理论与系统理论的研究成果，提出“能源重化工产业集群生态（绿色）集成制造系统（EHCIC—GIMS）”的概念，并对EHCIC—GIMS的相关理论和方法进行了梳理...
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匠心智造 工匠精神与强国制造落地手册
张小强著2018 年出版259 页ISBN：9787218126050工匠精神和匠心智造是目前中国制造业最应具备的精神品质。本书的的编写就是结合作者工匠精神与匠心智造的实战心得，阐述了如何在坚持工匠精神的前提下，根据匠心智造体系，有效促进我国制造型企业的转型升级，具有...
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“中国制造2025”出版工程 工业机器人集成系统与模块化
李慧，马正先，马辰硕著2018 年出版223 页ISBN：9787122318947本书围绕工业机器人集成系统与模块化，从开发角度出发，对工业机器人规划与控制、机器人结构优化及组合模块结构形式等进行理论探讨，对工业机器人本体及零部件进行应用开发。在工业机器人集成系统研究中，主要对机...
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模拟电路和数字电路自学手册
蔡杏山主编2018 年出版311 页ISBN：9787115486417本书主要介绍从事电子开发工作所需要的模拟电路与数字电路基础。主要内容包括电路基础、放大电路、集成运算放大器、谐振电路与滤波电路、正弦波振荡器、调制与解调电路、频率变换与反馈控制电路、电源电路...