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半导体材料标准汇编 2014版 方法标准 行标分册
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会，中国标准出版社编2014 年出版450 页ISBN：9787506677530本书分上中下三册，内容包括截止到2014年9月国内出版的半导体材料国家标准、行业标准文本以及SEMI和国外发布的半导体材料标准目录。其中上册为基础、产品和管理标准（65项），中册为国家方法标准（75项），下册为行业方....
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