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纳米集成电路制造工艺 第2版
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纳米集成电路制造工艺 特惠
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王蔚,田丽,任明远编著2010 年出版396 页ISBN:9787121117510
本书主要分5个单元。第1单元介绍硅衬底,主要介绍硅单晶的结构特点,单晶硅锭的拉制及硅片(包含体硅片和外延硅片)的制造工艺及相关理论。第2~5单元介绍硅芯片制造基本单项工艺(氧化与掺杂、薄膜制备、光刻、工艺.....
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陈国光主编;董素荣副主编2010 年出版512 页ISBN:9787564002992
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卢飞跃,薛小伟编著2010 年出版212 页ISBN:9787122068101
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刘瞬尧编著2010 年出版300 页ISBN:9787548700098
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董林福编著2010 年出版109 页ISBN:9787122068484
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朱胜,姚巨坤编著2010 年出版255 页ISBN:9787111323365
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邹积德主编2010 年出版211 页ISBN:9787122085511
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苏君主编2010 年出版248 页ISBN:9787111297598
本书全面、系统地阐述了编制模具加工工艺规程的原则和方法,模具制造工艺的基本原理、特点和加工工艺,模具零部件等。