绿色微纳电子学

在低碳经济时代，节能减排成为世界各国密切关注的话题，也是我国经济持续健康发展的关键。集成电路50年来的发展将人类社会推进到信息社会，同时也为改造传统产业做出了巨大贡献。半导体技术一方面是改革能源结构...

微纳光子集成

本书首先介绍了光波导基础理论（第一章）、光波导器件数值模拟技术（第二章、第三章）等。人们也研发了基于各种材料的不同光波导结构，适用于不同场合的需求。本书在第四章则对各类光波导（包括最新发展的硅纳米光波.....

微纳加工科学原理

本书基于作者长期从事微纳加工技术、带电粒子光学和光电子学等方面的科研和教学工作积累，系统、全面地论述关于现代微米与纳米微细加工的科学原理。...

微纳传感器及其应用

本书的主要内容是通过深入细致地讲述MEMS（微电机）设计的基础理论和研究方法，结合几种常用的MEMS器件作为研究实例，让学生了解和掌握MEMS器件和系统，从原理设计、工艺设计、系统设计，到加工测试的整个设计过程，以及...

微纳尺度制造工程 英文版

本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。本书新...

微纳尺度通道流动理论及应用

本书介绍了微纳尺度通道流动研究的理论价值和实际应用意义；分析了用于微纳尺度通道流场研究的基本方程-Burnett方程及其该方程的稳定性特征；探讨了微纳尺度下典型流场的Couette流和Poiseuille流的流动特征和...

功能新材料及生命体中的微纳结构

微纳结构是生命体共有的、基本的最小基元。本书从不同角度，展示了微纳技术在生命科学领域的应用进展。内容涉及许多专利性质的方法、实验技巧，是作者多年从事科研事业的结晶。巧用Phase信息研究生命体中的微...

纳米光子学

本书从纳米光子学的基础理论讲起，并将内容扩展到纳米材料、技术应用等方面。其内容涉及量子点纳米探针、流式细胞、双光子成像、纳米医学、靶向运输等生物医学及纳米生物技术领域研究中的热点问题。...

第六届全国塑料光纤、聚合物光子学会议 会议论文集

碳电子学