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微机电系统设计与加工

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（美）MOHAMEDGAD-EL-HAK编著2010 年出版536 页ISBN：9787111285977
本书主要介绍了MEMS技术中材料和加工方面的知识，内容包括：MEMS中的材料，MEMS制造，LIGA及其微模压，基于X射线的加工，EFAB技术及其应用等知识。...
微机电系统（MEMS）设计建模、仿真与可视化

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卢桂章，赵新著2010 年出版278 页ISBN：9787030292209
本书主要内容包括：微机电系统概述，微机电系统制造技术，微机电系统设计方法，基于IP库的MEMS设计方法，微机电系统系统级建模，微机电系统器件级建模、仿真及可视化，微机电系统工艺级建模、仿真及可视化。...
微机电系统与设计

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娄利飞编著2010 年出版204 页ISBN：9787121108082
全书共8章，第1章初识微机电系统。第2章阐述了用于传感或执行元件工作的基本机理，并介绍了一些典型的微传感器和微执行器。第3章讨论了用于微机电系统的多种材料。第4章描述了怎样制造微机电系统和器件。第5章...
用于恶劣环境的碳化硅微机电系统

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RebeccaCheu著2010 年出版121 页ISBN：9787030268624
碳化硅MEMS在航空、航天、矿业、石油、地质、汽车等领域都有着不可替代的作用。因为碳化硅圆片制作的复杂性，以及应用碳化硅的器件工艺难度高，而成为尖端领域。目前国外有一些研究机构积累了大量的技术和经验...
微机电系统工程基础

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王琪民，刘明侯，秦丰华编著2010 年出版370 页ISBN：9787312024689
本书主要介绍正在快速发展的微电机系统工程基础知识，涵盖了当今高科技前沿领域的半导体超精密制作工艺、微传感器和精细微系统的机理、设计、建模、应用等。...
微光机电系统

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周海宪编著2010 年出版510 页ISBN：9787118063653
本书首先介绍集成电路的短暂历史和微加工的发展。然后对MEMS和微光学以及两种技术组合后的发展潜力进行回顾和评述。
泛结构化微机电系统集成设计方法

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苑伟政，常洪龙著2010 年出版218 页ISBN：9787561227589
本书提出和建立了泛结构化微机电系统集成设计方法，系统性地论述了其理论体系和关键技术。本方法是在对当前微机电系统集成设计工具的体系结构、基础理论、关键技术及发展趋势等方面进行归纳和总结的基础上，提...
机电工程训练基础

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马建民主编2010 年出版430 页ISBN：9787302235620
本书共5篇12章，内容介绍了机电工程训练安全基本知识必读、工程材料及热处理技术知识、焊接技术、钳工操作技术、车削加工技术等。
微纳米粉体技术理论基础

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李凤生等编著2010 年出版295 页ISBN：9787030297020
本书较全面系统地归纳总结了微纳米技术的理论基础。全书共分五章，主要论述了微纳粉体制备技术的理论基础，微纳米粉体改性技术的理论基础，微纳米粒子复合与组装技术理论基础、微纳米粉体应用技术理论基础及今后...
机电设备装调与维护技术基础

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乐为编著2010 年出版125 页ISBN：9787111272984
本书介绍了常用机电设备的结构原理、安装、调试与维护过程。其主要内容有设备安装基础知识，设备装配基础知识等。