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纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究

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赵晓锋著2009 年出版246 页ISBN：9787811291261
本书主要研究基于MEMS技术与CMOS工艺制作以纳米硅/单晶硅异质结为源极（S）和漏极（D）的MOSFET压/磁多功能传感器，在同一芯片上采用同一敏感器件完成对压、磁信号的同时检测，从基本结构设计、工作原理、特性分析等方...
多晶硅生产技术

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邓丰，唐正林主编2009 年出版195 页ISBN：9787122055019
本书内容包括多晶硅原料制备、原料提纯、多晶硅制备、尾气回收等。
直拉单晶硅工艺技术

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黄有志，王丽主编2009 年出版131 页ISBN：9787122055002
本书包括单晶硅的基本知识、直拉单晶炉、直拉单晶炉的热系统及热场、晶体生长控制器、参杂技术等内容。

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