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SOI-纳米技术时代的高端硅基材料
林成鲁编著2009 年出版468 页ISBN:9787312022333绝缘体上硅(SOI)是纳米技术时代的高端硅基材料,是“新一代硅”,是微电子和光电子领域发展的前沿。本书收集纳米技术时代的高端硅基SOI材料方面的论文共40篇,包括SOI材料的进展、制备、特有的物理效应及若干应用...
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纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究
赵晓锋著2009 年出版246 页ISBN:9787811291261本书主要研究基于MEMS技术与CMOS工艺制作以纳米硅/单晶硅异质结为源极(S)和漏极(D)的MOSFET压/磁多功能传感器,在同一芯片上采用同一敏感器件完成对压、磁信号的同时检测,从基本结构设计、工作原理、特性分析等方...
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光子学 现代通信光电子学 第6版
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