微机电系统基础

本书是微电子教材。

生物微机电系统

微系统技术领域的飞速发展为许多重点学科（从微电子到生命科学）引入了极具前景的产品，特别是生命科学和卫生保健业，一直是人们期望的微系统技术产品的主要市场。毫无疑问，生物学和微纳科学的结合将会制造一场新的...

微机电系统集成与封装技术基础

本书主要介绍了微机电系统与填封装技术，包括微机电系统集成技术基础。

微传感器 MEMS与智能器件

本书主要内容为电子材料与加工技术、标准微电子工艺、微传感器等。

机械制造技术基础 机电类专业用

本书是中职教材。

执行器技术：微机电方法 影印版

执行器是将电能转换成机械能的装置，通常用于电气、气动、液压系统。由于执行器技术在生物医学、人工器官修复、器械矫形中应用的需要，对高效且具有微纳米尺寸级别的复杂精密机械产品的需要不断增长。本书对执...

机械制造技术 机电模具类

本书从培养技术应用能力出发，根据中等职业学校的培养目标和现代化企业发展的需要，从机械制造工艺为主线，辅以测量技术、金属切削原理和机床夹具等，对课程内容进行整合，使其更具实用性。...

现代制造技术-机电专业英语

本书旨在帮助高等职业技术学校学生以及广大工程技术人员提高在工作实践中科技英语的应用能力。具有内容丰富和实用性强的特点。全书共分为机械基础、加工技术、PLC技术、电机控制技术、液压技术和现代制造...

CMOS MEMS技术与应用

本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用，包括CMOS MEMS的制备工艺、材料表征及其电路或系统的集成化技术，CMOS MEMS技术在惯性传感器、压力传感器、指纹传感器系统、化学传感器和RF器件及系统中的...

机械设计制造及其自动化专业系列教材 机电传动控制