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微纳加工中的精密工件台技术
刘俊标,薛虹,顾文琪著2004 年出版278 页ISBN:7563914323本书重点讲述微纳加工关键部件——精密工件台的结构、原理和主要技术,以及通过精密工件台提高加工精度和生产效率的有效方法。书中对精密测量技术、驱动技术、直线导向技术、微位移技术、精密工件台控制系统...
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电子束曝光微纳加工技术
顾文琪主编;顾文琪,王理明,薛虹,方光荣,张福安,刘祖京,黄经筒,杨忠山著2004 年出版310 页ISBN:7563913009本书作者长期从事电子束曝光技术的研究和装备的研制,积累了丰富的经验。本书系统地介绍了电子束曝光技术的发展历史和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景,同时,详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和...
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分子光子学 原理及应用
(日)堀江一之等著;张镇西等译2004 年出版207 页ISBN:7030127242本书从基础光学知识入手,从分子的角度介绍了分子光子学(分子光谱学)的基本理论、光化学反应特性、光物理过程,以及电场、磁场、声学场和光辐射作用下的材料诱发变性。...
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