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微机电系统基础

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（美）Chang Liu著2007 年出版365 页ISBN：7111223330
本书是微电子教材。
微机电系统基础英文版

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（美）刘昶著2011 年出版576 页ISBN：7111358275
微机电系统（MEMS）工艺基础与应用

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邱成军，曹姗姗，卜丹编著2016 年出版301 页ISBN：7560351094
微机电系统基础英文版

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（美）Chang Liu2008 年出版530 页ISBN：9787111231677
本书阐述了微机电系统的基础知识，还涉及微机电系统的前沿和尖端技术。
微机电系统技术基础

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石庚辰，郝一龙编2006 年出版268 页ISBN：7508343840
本书系统地介绍了有关微机电系统的知识，主要内容包括微机电系统的基本概念、微机电系统所用材料、微机电系统的加工技术、微机电系统的设计技术，微机电系统的组成、检测及应用技术。内容详实、图文并茂。...
微机电系统基础原书第2版

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（美）刘昶著；黄庆安译2013 年出版398 页ISBN：9787111406570
本书全面论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文，为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例：惯性传感器、压力传...
微机电系统基础

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（美）穆罕默德（Mohamed Gad-el-Hak）主编；赵永梅，段瑞飞，季安译2017 年出版394 页ISBN：9787111557333
相对于人们对涉及的非传统物理的理解，MEMS技术发展得非常快。只有深刻掌握其基本原理，才能促进MEMS技术的提高，才有可能进行微机电系统的设计和制造，并让其在现有的和设想的各个领域广泛应用。本书是MEMS手册中...
微机电系统

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梅涛，伍小平主编2003 年出版198 页ISBN：7502543201
微机电系统技术

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石庚辰编著2002 年出版217 页ISBN：7118025607
微机电系统及其相关技术

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章吉良，杨春生等编著1999 年出版156 页ISBN：7313023073