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MEMS材料与工艺手册
(美)格迪斯,(美)林斌彦著2014 年出版966 页ISBN:9787564140533微机电系统(MEMS)技术是一个快速发展的前沿技术领域,使用的材料种类多、工艺方法复杂,需要系统地归纳、分析与整理,以便于读者查阅。本书内容包括MEMS材料,MEMS加工工艺和制造工艺,MEMS工艺集成方法以及工业届已经...
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