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张如明，张经国，韩学鸿1986 年出版240 页ISBN：
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黄棋尤主编2003 年出版491 页ISBN：7111116143
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孟鸿，黄维著2019 年出版292 页ISBN：7030584861
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张定昌译1978 年出版318 页ISBN：
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潘栋编译1999 年出版318 页ISBN：
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许小红，武海顺编著2002 年出版175 页ISBN：7030108078
本书系统地介绍了压电学的基本原理和压电薄膜的制备方法、形成过程、结构特征及其应用。
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郑福元编著1984 年出版320 页ISBN：15031·563
金刚石薄膜的制备与应用

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陈光华，张阳等编著2004 年出版253 页ISBN：7502552308
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薄膜材料的制备及应用

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刘琳，刑锦娟，钱建华编著2011 年出版174 页ISBN：9787551700917
本书包括以下主要内容：导论；薄膜制备的物理方法；第一章薄膜制备的化学方法；第二章薄膜技术应用；第三章薄膜的装置；第四章薄膜的形成、结构与缺陷；第五章特殊薄膜材料等。...