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一体化PET/MR操作规范和临床应用
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微机电系统（MEMS）原理、设计和分析
田文超著（西安电子科技大学机电学院）2009 年出版250 页ISBN：9787560622231本书介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识，包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析和使用方法、加工工艺、表面特征、检测技术、主要应用及COMSOL多物理分析软件微机电模块。...
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