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洁净室的检测与运行管理
涂光备，涂有编著2008 年出版277 页ISBN：9787112101863本书内容分为上下两篇，上篇（第1～6章）主要讨论洁净室的检测，下篇（第7～11章）主要介绍洁净室的运行与管理。
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