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MEMS集成设计技术及应用
苑伟政，谢建兵，焦文龙著2014 年出版294 页ISBN：9787118095838全书共分六章，第一章简述微米纳米器件测试技术的发展、意义和研究现状，第二章介绍微米纳米结构的特征几何参量测量技术，第三章介绍微米纳米结构的动态特性测试技术，第四章介绍微米纳米力学量测试技术，第五章介绍...
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