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微纳加工中的精密工件台技术
刘俊标,薛虹,顾文琪著2004 年出版278 页ISBN:7563914323本书重点讲述微纳加工关键部件——精密工件台的结构、原理和主要技术,以及通过精密工件台提高加工精度和生产效率的有效方法。书中对精密测量技术、驱动技术、直线导向技术、微位移技术、精密工件台控制系统...
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