半导体芯片制造技术

本书全面系统地介绍了半导体芯片制造技术，内容包括半导体芯片制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的制备、晶圆制备、薄膜制备、金属有机物化学气相沉积、光刻与刻蚀、掺杂以及封装。由于目前光电产业的...

日中中日半导体制造技术词典

本书收集了有关半导体（集成块）制造方面的技术用语，内容包括了半导体材料、硅氧化、光刻和刻蚀等加工工艺和外观检验、性能检验的基本专业词汇，对研究和开发半导体制造技术、从事半导体（集成电路）制造的人员学习.....

激光先进制造基础实验

本书为编者在多年教学经验的基础上总结了激光加工领域的重要内容，提取了相关的若干个实验及相关知识编写而成。本书以理论与实践相结合，以实验教学为主，理论传授为辅，针对光学工程专业硕士生不同的基础知识背景...

半导体制造工艺控制理论

稳定受控的半导体制造工艺是实现芯片高可靠性水平的重要方法。本书从工序能力指数、统计过程控制和实验设计三个方面展开，详细讲述三种技术的常规理论和特殊应用方法和模型。内容包括常规工序能力指数，特殊工...

粉末激光熔化增材制造技术

本书介绍金属零件激光增材制造的基本原理，以选择性激光熔化设备为例，讲解此类设备的操作技巧，并辅以生动的零件制作案例，以培养大中小学学生的创新思维能力和动手能力。该书主要针对职业技术教育和中小学生的科...

先进激光制造技术

激光制造技术是20世纪的一项重大技术发明。本书详细介绍了激光基础原理，激光器与激光模式，激光加工，激光成形以及激光在工业和科学研究领域中的应用技术等，书中内容特别融合了作者近几年在激光制造技术方面取得...

半导体制造系统智能调度

本书是国内系统介绍半导体制造系统智能调度的首部专著。本书围绕半导体制造系统特点，阐述了智能优化方法在求解半导体智能系统调度问题中的应用模式及方法，给出了半导体制造系统调度智能化求解新途径。本书可...

半导体制造基础

本书主要介绍半导体制造，包括集成器件的晶体生长和电路。本书内容覆盖半导体制造的所有主要理论和实际应用步骤。第1章主要介绍半导体器件以及相关行业的发展简史；第2章介绍晶体生长技术；接下来的几章介绍典型...

定制光 激光制造技术

该书采用理论分析、公式计算以及模型推导的方法阐述了激光材料加工过程的基本物理现象、透彻地分析了激光材料加工过程的本质、例举了激光加工技术的大量应用实例、分析了激光加工技术的未来发展趋势。这些...

半导体生产净化技术 高纯水的制造及废水、废气的处理