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超精密气浮定位工作台技术：气浮系统动力学与控制
陈学东，何学明，叶燚玺著2008 年出版223 页ISBN：9787560946108本书阐述了超精密气浮定位工作台中的气浮支承技术、系统动力学、超精密定位运动及其控制等基本理论与方法。主要内容：超精密气浮支承技术和精密定位工作台电磁直接驱动的基本理论和技术；超精密气浮支承的建模...
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