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高动态微系统与MEMS引信技术 上
娄文忠著2016 年出版347 页ISBN：7118108316本书主要内容有：微系统基础介绍；微系统集成及其关键技术；高动态微系统；高动态微系统结构设计体系；微型引信技术及MEMS引信；固态微引信；固态微引信核心器件；引信固态安全与保险控制核心芯片；MEMS固态开关组技术......
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RF MEMS应用指南
（美）Vijay K. Varadan，（美）K. J. Vinoy，（美）K. A. Jose著；赵海松，邹江波译2005 年出版300 页ISBN：7121017504本书主要介绍了MEMS及射频MEMS、MEMS材质及制作技术、RF MEMS交换及微继电器、MEMS感应器和电容器、微机械射频虑波器、微机械移相器、微机械传输线及组成、微机械天线、RF MEMS元件的集成及封装等内容。本...
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MEMS传感器接口ASIC集成技术
刘晓为，陈伟平著2013 年出版224 页ISBN：9787118085150本书共统计了12大类138种（暂定）较为常见的易燃液体。概述了联合国危险品分类方法，说明了易燃液体的简易识别方法，对于所统计的每种易燃液体，分别列出了基本标识；用于简易识别的物理性质；禁配物；急救措施；燃爆......
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微机电系统（MEMS）原理、设计和分析
田文超著（西安电子科技大学机电学院）2009 年出版250 页ISBN：9787560622231本书介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识，包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析和使用方法、加工工艺、表面特征、检测技术、主要应用及COMSOL多物理分析软件微机电模块。...
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引信MEMS微弹性元件设计基础
隋丽，牛少华，石庚辰，代俊著2016 年出版258 页ISBN：9787118078121本书从基本理论出发，对主要微弹性元件（微弹簧、微闭锁机构等）的设计计算方法做了比较系统的分析和推导，以期能使设计人员对其有比较全面系统的了解，从而达到正确和灵活运用这些方法的目的。本书对于一些特殊结构...
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RF MEMS理论·设计·技术
（美）Gabriel M. Rebeiz著；黄庆安，廖小平译2005 年出版403 页ISBN：7564101970本书共分15章，论述RF MEMS与传统半导体器件相比之下的优点及其应用领域；论述RF MEMS器件的静态、动态和电磁模型；论述了国际上RF MEMS 开关的研究进展；论述MEMS开关的制备、封装、可靠性及功率处理能力；MEMS开关...
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微机电系统设计（MEMS）和原型设计指南
（美）库比著2014 年出版135 页ISBN：9787118096903在本书中描述和分析了大量的设计案例，涉及领域包括微观力学、电磁学、光学MEM、热学MEMS和流体MEMS等。其中有一章专门介绍MEMS器件的封装和测试；此外，在本书每章的最后，都描述了MEMS设计的实践和挑战，并提供了...
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Miniaturized systems with micro-optics and MEMS volume 3878
M. E.Motamedi1999 年出版426 页ISBN：0819434752 -
