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现代高纯气体制取、分析与安全使用
尹恩华著2015 年出版336 页ISBN:9787030449672本书从高纯气体与集成电路等的关系说明气体纯度重要性。集成电路的制造包括成膜、刻蚀、掺杂和注入、平衡和清洗等,无不需要各种高纯气体。高纯气体的制取是本书的核心,在制取高纯气体方面,本书介绍国内外最新...
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