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微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用
顾长志等编著2013 年出版353 页ISBN：9787030378255本书共分十二章，第1－8章分类介绍了几种主要的微纳加工技术，包括：光学曝光、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、激光加工技术、纳米压印技术、离子束技术、薄膜技术和自组装加工，即简要概述了各种加工方法的科...
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