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材料科学与技术丛书 第16卷 半导体工艺
（美）K.A.杰克逊（Kenneth A.Jackson）主编；屠海令，万群等译校1999 年出版627 页ISBN：703007260X暂缺《半导体工艺》简介
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半导体异质结构与纳米结构表征 导读版
卡洛·兰伯蒂著2010 年出版486 页ISBN：9787030269690本书介绍了异质和纳米结构半导体的特性，同时讨论了最新的独特的创新的纳米工艺。全面描述了对异质/纳米结构性质进行表征的手段和方法。包括高分辨率X射线衍射技术、拉曼谱技术、X射线吸收精细结构等内容。...
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