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MEMS设计模拟与仿真系统应用-Coventor Ware
郝永平，刘凤丽，刘世明编著2007 年出版240 页ISBN：711804749XMEMS广泛应用于国防行业中的微机电系统、舵机系统、传感器系统、制导系统等。
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